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| 序號 |
特征 |
參數(shù) |
測試方法 |
| 1 |
外延層摻雜劑 |
P,P+:Boron N,N+:Phosphorus, Arsine |
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| 2 |
外延層晶向 |
<100>,<111> |
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| 3 |
外延層電阻率 |
P,N:10-1 ∽ 102Ω·cm |
ASTM F723 |
| 4 |
外延層電阻率中心值偏差 |
≤±5% |
For 6' |
| 5 |
外延層電阻率均勻性 |
≤±3% |
For 6' |
| 6 |
外延層厚度 |
1 to 100 Micrometer |
ASTM F95、F110 |
| 7 |
外延層厚度中心值偏差 |
≤±5% |
For 6' |
| 8 |
外延層厚度均勻性 |
≤±3% |
For 6' |
| 9 |
堆垛層錯密度性 |
10/cm2 |
ASTM F1810 |
| 10 |
滑移線 |
5條，總長度不超過圓片半徑 |
ASTM F1725 F1726 |
| 11 |
霧 |
NONE |
ASTM F523 |
| 12 |
劃傷 |
NONE |
ASTM F523 |
| 13 |
凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪 |
NONE |
ASTM F523 |
| 14 |
崩邊 |
NONE |
ASTM F523 |
| 15 |
冠狀邊緣 |
表面上凸起物高度不超過1/3延層厚度 |
To be defined |
| 16 |
異物 |
NONE |
ASTM F523 |
| 17 |
背面沾污 |
NONE |
ASTM F523 |
| 18 |
點缺陷 |
SEMI標準 |
ASTM F523 |
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